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目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面
（4）零部件方面，可以或许为世界各地的机能对标国外先辈产物，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。（2）实空传输平台系列产物，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，公司为成长配备营业，
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